MII带来纳米压印技术的革新

• 作者: 王蔚斯
• 来源期刊: 电脑与电信
• 学科: 工学
• 关键词: 纳米压印技术 MII 革新 半导体光刻 掩膜板 市场 驱动
• 年，卷（期）: 2011,（12）
• 所属期刊栏目: 全球IT新浪潮
• 页码范围: 1-3,6
• 分类号: TN305.7
• 字数: 3812字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1008-6609.2011.12.001

摘要

去年全球半导体光刻掩膜板市场已达到了30亿元规模,驱动这一市场成长的关键主要来自于先进技术持续进行微缩