基于声表面波技术实现纸基微流开关研究

• 作者: 叶丽军 尉一卿 章安良 韩庆江
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 微流开关 声表面波 叉指换能器 微通道
• 年，卷（期）: 2011,（6）
• 所属期刊栏目: 生物化学类传感器
• 页码范围: 788-792
• 分类号: TN722
• 字数: 3583字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2011.06.002

摘要

提出了采用声表面波技术实现纸基微流开关的方法。它由127.68°旋转Y切割X传播方向的LiNbO3压电基片和两个有一定间隙的纸微通道组成。压电基片上采用微电子工艺制作1个中心频率为27.5MHz的叉指换能器和1个反射栅，纸微流通道采用PDMS薄膜贴附于压电基片的声传播路径上，微流通道一侧微流体在没有声表面波作用时，微流体不能通过微流通道间隙，实现微流开关的“off”功能，当叉指换能器施加经功率放大器放大后的RF信号，它激发的声表面波驱动微流通道中微流体输运到另一微流通道，实现微流开关的“on”功能。红色染料溶液和亚硝酸钠溶液在纸微流通道输运实验表明，声表面波可实现纸微流通道内微流体的开关功能。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	尉一卿	宁波大学信息学院	9	8	2.0	2.0
2	韩庆江	宁波大学信息学院	8	6	1.0	2.0
3	章安良	宁波大学信息学院	47	92	5.0	5.0
4	叶丽军	宁波大学信息学院	9	1	1.0	1.0