基于ZnSe/Ag/ZnSe可见区透明导电薄膜

• 作者: 刘星元 宋春燕
• 来源期刊: 光子学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 透明导电薄膜 ZnSe Ag 功函数
• 年，卷（期）: 2011,（6）
• 所属期刊栏目: 薄膜光学
• 页码范围: 857-859
• 分类号: O484.1
• 字数: 1816字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/gzxb20114006.0857

摘要

利用红外光学材料ZnSe和金属Ag在室温下采用电子束蒸发镀膜技术研制了透明导电薄膜ZnSe/Ag/ZnSe,该薄膜的电子浓度为1.208×1020cm-3,电子迁移率和电阻率分别为17.22 cm2 V1s-1和2.867×10-5Ω·cm,功函数达到5.13 eV,在可见区的平均透过率理论模拟值超过80％,而测量结果为63.8％,测量的最高透过率为83％.结果表明,该透明导电薄膜具有良好的光学和电学性能,可作为透明电极应用于发光二极管等光电子器件中.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘星元	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所激发态物理重点实验室	16	126	7.0	11.0
2	宋春燕	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所激发态物理重点实验室	1	1	1.0	1.0