基于MEMS技术的低g值微惯性开关的设计与制作

• 作者: 吴嘉丽 王超 陈光焱
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 平面矩形螺旋梁 微惯性开关 低g值开关 微机电系统(MEMS)
• 年，卷（期）: 2011,（5）
• 所属期刊栏目: 物理类传感器
• 页码范围: 653-657
• 分类号: TB115|TB125
• 字数: 3064字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2011.05.006

摘要

惯性开关是一种感受惯性加速度,执行开关机械动作的精密惯性装置.选用典型的"弹簧-质量-阻尼"结构,研制了一种基于平面矩形螺旋梁的低g值(1gn～30gn)微惯性开关.惯性敏感单元由一个方形质量块和支撑它的两根螺旋梁组成,采用ANSYS有限元软件对其进行了仿真分析.采用MEMS体硅加工工艺和圆片级封装技术,包括KOH腐蚀、ICP刻蚀和喷涂工艺等关键工艺技术,完成了微惯性开关的制备,划片后芯片尺寸为7 mmx7 mm×1.5 mm.经离心实验测试,微惯性开关的闭合阈值约为4.28gn,导通电阻约为9.3 Ω.多次测试结果表明,微惯性开关具有0.5gn的闭合精度,多次测试重复性较好,具有体积小,结构简单,加工容易实现等特点.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吴嘉丽	中国工程物理研究院电子工程研究所	17	110	6.0	10.0
2	王超	中国工程物理研究院电子工程研究所	35	184	7.0	12.0
3	陈光焱	中国工程物理研究院电子工程研究所	23	219	10.0	13.0