Ni含量对FeCoNiB软磁薄膜微波电磁性能的影响

• 作者: 冯则坤 王鲜 聂彦 邱景 龚荣洲
• 来源期刊: 功能材料
• 学科: 物理学
• 关键词: 磁性薄膜 微波电磁性能 复磁导率 电阻率 铁磁共振频率
• 年，卷（期）: 2011,（1）
• 所属期刊栏目: 研究与开发
• 页码范围: 116-119
• 分类号: O484
• 字数: 2728字
• 语种: 中文

摘要

为了改良磁性材料的高频电磁性能,采用射频磁控溅射工艺制备了一系列FeCoB和FeCoNiB磁性薄膜.研究了Ni元素的引入对材料微结构和电磁性能的影响.结果表明,适量的Ni添加量有利于获得优良的微波电磁性能,这主要归因于B在晶粒边界的析出.制备的厚度约为200nm薄膜样品在GHz频段下同时具有高饱和磁化强度47πMs=2.212T,高铁磁共振频率f(FMR)=3.16GHz,较高的电阻率ρ=276μΩ·cm,其磁导率实部μ'在0.5～2.9GHz频率范围内>200.该薄膜可应用于GHz频段下电磁器件的设计中.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	龚荣洲	华中科技大学电子科学与技术系	93	817	15.0	24.0
2	冯则坤	华中科技大学电子科学与技术系	109	961	18.0	25.0
3	邱景	华中科技大学电子科学与技术系	4	11	3.0	3.0
4	聂彦	华中科技大学电子科学与技术系	38	401	12.0	19.0
5	王鲜	华中科技大学电子科学与技术系	38	236	9.0	14.0