射频磁控溅射法制备Zn1-xMgxO薄膜及其性能的研究

• 作者: 何玉定 杨元政 王彦利 谢致薇 陈先朝 高振杰
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 射频磁控溅射 Zn1 -xMgxO薄膜 禁带宽度
• 年，卷（期）: 2011,（5）
• 页码范围: 1261-1265
• 分类号: O484.1
• 字数: 2583字
• 语种: 中文

摘要

本文通过在ZnO靶材上放置高纯Mg片,运用射频磁控溅射法在普通玻璃衬底上制备了Zn1-xMgxO(x=0.1,0.16,0.18,0.24)薄膜.用X射线衍射仪、扫描电镜、紫外-可见-分光光度计等研究了Zn1-xMgxO薄膜的组织结构和性能.结果表明:Zn1-xMgxO薄膜呈ZnO的纤锌矿结构,在ZnO晶格中Mg2+有效地替代了Zn2+.样品表面比较平整,颗粒均匀致密,薄膜质量较高,且在可见光范围内光透过率均为90％左右,具有极好的透光性；此外,随着Mg掺入量的增多,Zn1-xMgxO薄膜的吸收边出现蓝移现象,实现了对禁带宽度的调节.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	谢致薇	广东工业大学材料与能源学院	85	436	12.0	15.0
2	杨元政	广东工业大学材料与能源学院	123	648	13.0	20.0
3	陈先朝	广东工业大学材料与能源学院	59	180	7.0	10.0
4	何玉定	广东工业大学材料与能源学院	28	215	6.0	14.0
5	王彦利	广东工业大学材料与能源学院	3	8	2.0	2.0
6	高振杰	广东工业大学材料与能源学院	3	8	2.0	2.0