TMAH溶液中的(110)硅各向异性湿法腐蚀及其在不同添加剂下的腐蚀特性研究

• 作者: 吴学忠 董培涛 邸荻 陈骄
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 湿法各向异性腐蚀 (110)硅 TMAH 过硫酸铵 异丙醇
• 年，卷（期）: 2011,（2）
• 所属期刊栏目: 物理类传感器
• 页码范围: 185-189
• 分类号: TN304.5|TN405
• 字数: 2365字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2011.02.006

摘要

研究了TMAH溶液中(110)硅片在不同几何形状掩膜窗口下的各向异性湿法腐蚀行为,探讨了(110)硅在TMAH与不同添加剂(过硫酸铵、异丙醇等)构成的腐蚀系统下的腐蚀特性.利用场发射扫描电子显微镜(SEM)观测(110)硅的腐蚀坑腔结构,利用扫描探针显微镜(SPM)测量(110)硅腐蚀的表面粗糙度.结果表明:(110)硅片腐蚀的坑腔结构与掩膜窗口的大小和腐蚀时间有关;在充分腐蚀的情况下,(110)硅片腐蚀的坑腔结构是由四个与表面垂直的(111)面和另外两个与表面成35.26.夹角的(111)面围成的结构;过硫酸铵和异丙醇能显著改善腐蚀表面质量.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	董培涛	国防科技大学机电工程与自动化学院	14	67	5.0	7.0
2	吴学忠	国防科技大学机电工程与自动化学院	70	934	18.0	28.0
3	陈骄	国防科技大学机电工程与自动化学院	1	12	1.0	1.0
4	邸荻	国防科技大学机电工程与自动化学院	1	12	1.0	1.0