常压微波等离子体炬装置的模拟与设计

• 作者: 刘繁 刘长林 戴松元 汪建华 王秋良
• 来源期刊: 强激光与粒子束
• 学科: 物理学
• 关键词: 微波等离子体炬 常玉 数值模拟 电场分布
• 年，卷（期）: 2011,（6）
• 所属期刊栏目: ICF与激光等离子体
• 页码范围: 1504-1508
• 分类号: O530
• 字数: 4308字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/HPLPB20112306.1504

摘要

介绍了一台低成本的常压微波等离子体炬设备,给出了该设备构造及喷嘴的设计思路,分析了各种气体的非磁化微波等离子体的击穿电场强度,数值求解了设备中矩形TE10103谐振腔中的电磁场分布,应用高频电磁场模拟分析软件HFSS优化了喷嘴在波导中的具体位置,并对优化后喷嘴周围的电场分布进行了模拟.模拟结果表明:微波输入有效功率为500 W,喷嘴伸出矩形波导1mm时,喷嘴尖端处的电场强度在1.2×106V·m-1以上,远大于氩气的击穿电场强度,更易于等离子体炬的激发.实验结果证明了模拟结果的正确性和装置的有效性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘长林	武汉工程大学材料科学与工程学院等离子体化学与新材料重点实验室	4	34	3.0	4.0
2	王秋良	中周科学院电工研究所	1	14	1.0	1.0