多波长激光发射光子集成技术

• 作者: 刘宇 刘建国 刘文 安俊明 徐坤 王欣 祝宁华 纪越峰 陈向飞
• 来源期刊: 科学通报
• 关键词: 光子集成 激光器 多波长
• 年，卷（期）: 2011,（25）
• 所属期刊栏目: 评述
• 页码范围: 2119-2126
• 页数: 8页
• 语种: 中文
• DOI: 10.1007/s11434-011-4677-7

摘要

针对光子集成芯片设计和制造中所面临的难点,对多波长激光发射光子集成芯片中的多波长激光器阵列、单片集成,芯片模块化耦合封装等核心技术进行了阐述.利用重构等效啁啾技术,二次压印模板技术,大幅度放宽光子集成芯片对制备工艺中的苛刻要求,降低了芯片制造成本;通过端对接耦合技术和铟磷基阵列波导光栅技术,解决了有源无源波导的单片集成问题;建立了多端口分析模型,实现了多参量动态特性的测试,提出了寄生参数补偿的封装技术,大幅度提升了芯片性能.