铝掺杂类石墨薄膜的构筑及其摩擦学性能研究

• 作者: 乌学东 曾志翔 王永欣 薛群基 赵文杰 陈建敏
• 来源期刊: 润滑与密封
• 学科: 工学
• 关键词: GLC薄膜 Al掺杂 表面结构 机械性能 摩擦行为
• 年，卷（期）: 2011,（10）
• 所属期刊栏目: 试验研究
• 页码范围: 20-24
• 分类号: TH117.1
• 字数: 3490字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.0254-0150.2011.10.006

摘要

利用磁控溅射技术在硅片表面上制备铝掺杂类石墨(Graphite-like carbon,GLC)薄膜,采用原子力显微镜、场发射扫描电镜、X射线光电子能谱仪、纳米压痕仪等考察铝掺杂对薄膜表面形貌、结构及其机械性能的影响规律;利用旋转的球一盘微摩擦试验机考察薄膜的摩擦行为.结果表明:铝的引入使GLC薄膜表面更加平整、致密;GLC薄膜的硬度和弹性模量随着掺铝量的增加而增加;低载低速时,薄膜摩擦因数随着铝含量的增加而增加,高载高速时,摩擦因数随铝掺入量的增加明显降低且更稳定.