静电梳齿驱动结构的稳定性分析

• 作者: 丁继亮 常洪龙 张峰 苑伟政 谢建兵
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 静电梳齿驱动结构 稳定性 侧向吸合 刚度
• 年，卷（期）: 2011,（8）
• 所属期刊栏目: 物理类传感器
• 页码范围: 1122-1125
• 分类号: TP212.1
• 字数: 1997字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2011.08.008

摘要

静电梳齿驱动结构的最大驱动位移主要受限于其侧向不稳定性,即当驱动电压接近吸合电压时,静电梳齿驱动结构的活动梳齿与固定梳齿发生吸合,导致静电梳齿驱动器失效.建立典型静电梳齿驱动结构的稳定性分析模型,研究梳齿驱动结构稳定性的影响因素,并进行理论分析、仿真分析和实验验证.结果表明:支撑梁结构的纵/横刚度比是影响静电梳齿驱动结构稳定性的关键因素,其比值越大,静电梳齿驱动结构的稳定性越好.