基于斜入射的平面度绝对检验方法

• 作者: 刘兆栋 李建欣 陈磊 韩志刚 高波
• 来源期刊: 仪器仪表学报
• 学科: 工学
• 关键词: 干涉测量 绝对检验 斜入射 Zernike多项式
• 年，卷（期）: 2011,（3）
• 所属期刊栏目: 学术论文
• 页码范围: 707-712
• 分类号: TH744.3
• 字数: 2990字
• 语种: 中文

摘要

为了获得高反射率光学平面的绝对面形分布,提出了基于斜入射的平面度绝对检验方案.该方法通过菲索干涉仪的空腔干涉以及两次斜入射测量得到三组波面数据,使用Zemike多项式对波面拟合,通过求解待测表面的旋转不变量和旋转因变量获得整个平面的绝对面形分布.测量90 mm口径的镀铝反射镜,其绝对检验结果为0.266λ(PV),0.075λ(RMS).讨论了测试中斜入射角及旋转角的选取方法,并分别选择45°和54°进行测试.基于斜入射的平面度绝对检验方法操作步骤简单,特别适合于高反射率光学表面的绝对面形检测.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈磊	南京理工大学电子工程与光电技术学院	133	991	16.0	23.0
2	韩志刚	南京理工大学电子工程与光电技术学院	17	79	5.0	8.0
3	刘兆栋	南京理工大学电子工程与光电技术学院	3	32	2.0	3.0
4	高波	南京理工大学电子工程与光电技术学院	3	17	1.0	3.0
5	李建欣		1	15	1.0	1.0