高端制造装备关键技术的科学问题

• 作者: 丁汉 李斌 杨叔子
• 来源期刊: 机械制造与自动化
• 学科: 工学
• 关键词: 高端制造装备 高端数控机床 大规模集成电路制造装备 发展趋势 科学问题
• 年，卷（期）: 2011,（1）
• 页码范围: 1-5
• 分类号: TH-9
• 字数: 6644字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-5276.2011.01.001

摘要

分析了高端制造装备的国家重大需求和面临的发展机遇,讨论了现阶段高端数控机床和极大规模集成电路制造装备研发的主要任务,通过分析这两类高端制造装备的研究现状与发展趋势,总结出了高性能运动控制、高速高精度驱动、装备与工艺动态交互作用、精密加工的环境控制四方面的关键科学问题.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨叔子	华中科技大学数字制造装备与技术国家重点实验室	273	4593	37.0	59.0
2	李斌	华中科技大学数字制造装备与技术国家重点实验室	202	3221	31.0	49.0
3	丁汉	华中科技大学数字制造装备与技术国家重点实验室	49	1178	18.0	33.0