金刚石自支撑膜衬底制备AlN薄膜的性能

• 作者: 刘金龙 吕反修 张营营 李成明 陈良贤 黑立富
• 来源期刊: 材料热处理学报
• 学科: 工学
• 关键词: 射频磁控反应溅射 金刚石自支撑膜 AlN 增透性
• 年，卷（期）: 2011,（8）
• 所属期刊栏目: 材料研究
• 页码范围: 1-5
• 分类号: TB383|O484.4
• 语种: 中文

摘要

采用射频磁控反应溅射法在金刚石自支撑膜衬底上沉积了AlN薄膜,XRD结果表明得到了（002）面择优取向的AlN薄膜;AFM的表面形貌结果显示薄膜表面平整,晶粒均匀,表面粗糙度为2.97 nm。XPS分析结果表明,离子剥蚀2.1 nm后Al/N原子百分比接近于1∶1;结合红外透过曲线和纳米力学探针测试,表明AlN薄膜在1500～800 cm-1波段对金刚石膜有约14%的增透作用,其平均硬度为21.5 GPa,平均弹性模量为233.3 GPa。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吕反修	北京科技大学材料科学与工程学院	151	1208	18.0	24.0
2	黑立富	北京科技大学材料科学与工程学院	39	153	6.0	10.0
3	张营营	北京科技大学材料科学与工程学院	2	4	2.0	2.0
4	李成明	北京科技大学材料科学与工程学院	71	480	12.0	19.0
5	陈良贤	北京科技大学材料科学与工程学院	34	69	4.0	5.0
6	刘金龙	北京科技大学材料科学与工程学院	34	82	5.0	7.0