PECVD法沉积类金刚石薄膜的耐腐蚀性能研究

• 作者: 陈强 雷雯雯
• 来源期刊: 电气技术
• 学科: 工学
• 关键词: 类金刚石薄膜 摩擦磨损 盐雾腐蚀 电化学腐蚀 等离子体化学气相沉积
• 年，卷（期）: 2011,（10）
• 所属期刊栏目: 研究与开发
• 页码范围: 32-38
• 分类号: TQ320.721
• 字数: 4507字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1673-3800.2011.10.028

摘要

金属材料在实际生活中应用广泛,但其易被摩擦磨损及易被腐蚀的特点成为其广泛应用中的主要障碍。本文介绍利用类金刚石（Diamond-like Carbon,DLC）的高硬度、低摩擦系数、高耐磨性及高化学稳定性等特点,采用等离子体增强化学气相沉积的方法,以C2H2为碳源、Ar为辅助气体在金属表面沉积DLC薄膜来提高金属的耐磨耐腐蚀性能。薄膜和基底的耐腐蚀测试分别用电化学腐蚀和烟雾腐蚀测量,DLC膜的化学结构和组成通过傅里叶红外光谱仪测量,文中讨论了DLC膜结构和组成对其耐腐蚀性能的影响。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈强	北京印刷学院等离子体物理及材料研究室	125	542	10.0	17.0
2	雷雯雯	北京印刷学院等离子体物理及材料研究室	2	14	2.0	2.0