浅谈芯片工厂的现场质量管理

• 作者: 江秉闰 马洁荪
• 来源期刊: 电子质量
• 关键词: 芯片制造 现场质量管理 4M1E
• 年，卷（期）: 2011,（5）
• 所属期刊栏目: 绿色质量与管理
• 页码范围: 50-51
• 分类号: TU721+.2
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-0107.2011.05.016

摘要

芯片制造是半导体工业的核心环节,微细图形加工、高纯材料要求和精密设备控制对生产现场质量管理提出了苛刻的要求,4M1E是现场质量管理实践中总结出来的关键要素,对4M1E实行严格有效的管理和控制,是实现芯片生产质量稳定可靠的基本保障.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	江秉闰		1	4	1.0	1.0
2	马洁荪		1	4	1.0	1.0