Material properties and effective work function of reactive sputtered TaN gate electrodes

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篇名	Material properties and effective work function of reactive sputtered TaN gate electrodes
来源期刊	半导体学报	学科
关键词
年，卷（期）	2011,（5）	所属期刊栏目
研究方向		页码范围	32-35
页数		分类号
字数		语种	中文
DOI	10.1088/1674-4926/32/5/053005

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