航空航天Mems传感器应用及其发展现状

• 来源期刊: 电子世界
• 学科: 工学
• 关键词: 微机电系统 航空航天 空间环境 航天器 流量传感器 发展现状 加速度传感器 航天传感器 压阻式压力传感器 传感器应用
• 年，卷（期）: 2011,（1）
• 页码范围: 20-21
• 页数: 2页
• 分类号: TP212
• 语种: 中文

摘要

前言微机电系统(microelectro-mechanicalsystems,Mems)是指可批量制作的,集微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路、直至接口、通信和电源等于一体的微型器件或系统.微机电系统是微电路和微机械按功能要求在芯片上的集成,尺寸通常在毫米或微米级,具有重量轻、功耗低、耐用性好、价格低廉等优点.微系统技术(MST)是一个更广泛的概念,它除了包括微机电系统外,还包括微流体系统、微光学系统、生物芯片技术