一种基于SOI的集成光波导耦合系统的设计与制备

• 作者: 严英占 仝晓刚 刘正 张宇光 李鹏 王丽 薛晨阳 闫树斌
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 锥形光波导 耦合 ICP RIE 跑道型微腔 环型微腔
• 年，卷（期）: 2011,（6）
• 所属期刊栏目: 物理类传感器
• 页码范围: 839-842
• 分类号: TN3
• 字数: 1350字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2011.06.012

摘要

根据锥形光纤与平面环型微腔耦合原理，使用L-Edit版图设计软件设计并优化了锥形光波导与微腔耦合系统。利用MEMS工艺对SOI圆晶片进行加工,从而实现了锥形光波导与跑道型以及环型光波导微腔的集成。其中，光波导以及微腔通过ICP刻蚀顶层硅而成，矩形槽通过RIE刻蚀衬底硅而成。光波导两侧的矩形凹槽可方便光纤接人以及对出射光的探测，从而提高了光波导微腔耦合系统的稳定性。