620mm薄镜面的主动支撑结构及面形校正

• 作者: 吴小霞 张景旭 范磊 陈夫林
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 主动光学 薄镜面 面形校正 支撑结构 模态振型 最小二秉法 有限元
• 年，卷（期）: 2011,（5）
• 所属期刊栏目: 微纳技术与精密机械
• 页码范围: 1022-1029
• 分类号: TH751
• 字数: 3652字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20111905.1022

摘要

为了提高大口径薄镜面望远镜主镜在不同俯仰角度的支撑面形精度,采用模态振型模式定标实时对主镜面形进行了主动校正.针对口径为620 mm,厚度为18 mm,底支撑采用36点主动支撑,侧支撑采用6点切向被动支撑的薄镜面主动支撑系统,分析了主镜自由振动时的模态振型;在进行主动校正前将其前10阶模态振型的RMS值归一化为1000nm,定标出相应的校正力;分析了不同俯仰角下主镜面形的变化,并采用最小二乘法用模态振型为底基函数拟合了主镜面变形,求解出主动校正力;对比校正面形和原始面形的关系,在二次主动校正之后分析了拟合残差和校正残差的关系.最终校正结果显示,主镜竖直放置时,用最大2.23 N的校正力可将其面形RMS从27.62 nm校正到12.95 nm;主镜水平放置时,用最大0.59 N的校正力可将其面形RMS从7.68 nm校正到2.84 nm.得到的结果验证了采用模态振型校正主镜面形的可行性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张景旭	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	114	1019	18.0	26.0
2	吴小霞	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	55	635	16.0	23.0