TiN/TiSiN复合涂层显微结构与力学性能研究

• 作者: 宋之敏 宿福利 李洪林 李祝 高见
• 来源期刊: 工具技术
• 学科: 工学
• 关键词: TiN/TiSiN复合涂层 微观结构 力学性能
• 年，卷（期）: 2011,（12）
• 所属期刊栏目: 实验与研究
• 页码范围: 39-43
• 分类号: TG174.4
• 字数: 3527字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-7008.2011.12.011

摘要

采用工业用直流脉冲等离子体增强化学气相沉积(PCVD)法在硬质合金刀具基体上制备了TiN和TiN/TiSiN复合涂层.对TiN涂层和不同沉积温度下制备的三种TiN/TiSiN复合涂层的微观结构和力学性能进行了对比研究.结果表明:随着沉积温度的升高,TiN/TiSiN复合涂层的结合力增大；沉积温度为550℃时,TiN/TiSiN复合涂层的硬度和耐磨性能优于其他两种TiN/TiSiN复合涂层；复合涂层的显微硬度和耐磨性能均高于单一TiN涂层.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	高见	成都工具研究所有限公司	15	224	8.0	14.0
2	宋之敏		25	134	6.0	10.0
3	李祝		9	98	5.0	9.0
4	李洪林	成都工具研究所有限公司	8	56	3.0	7.0
5	宿福利		2	8	1.0	2.0