复合型超精密表面形貌测量仪

• 作者: 常素萍 王淑珍 谢铁邦
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 超精密测量 表面形貌测量 原子力探针扫描 白光干涉
• 年，卷（期）: 2011,（4）
• 所属期刊栏目: 微纳技术与精密机械
• 页码范围: 828-835
• 分类号: TH741.3|TH742.9
• 字数: 4540字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20111904.0828

摘要

研制了基于同一显微镜基体实现原子力探针扫描测量与非接触光学测量两种功能的复合型超精密表面形貌测量仪.分析了基于白光显微干涉原子力探针的测量方法、探针微悬臂变形量与白光干涉条纹移动量的关系以及探针微悬臂测量非线性误差的修正方法,和通过融合垂直扫描系统的位移量和悬臂梁变形量得到了原子力探针的工作方式.研制了三维精密位移系统和基于白光显微干涉的原子力探针测头.采用原子力探针扫描测量对NT-MDT公司生产的扫描探针校准光栅TGZ2_PTB进行了重复性实验,实验显示标准差为0.96 nm,相对重复性误差为3.08%.给出了原子力探针扫描测量、相移干涉测量及白光干涉垂直扫描测量的测量实例.实验结果表明,所研制的超精密表面形貌测量仪可用于超精密加工工程表面、光学表面以及微纳几何结构的测量.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	谢铁邦	华中科技大学机械科学与工程学院	92	848	17.0	24.0
2	王淑珍	华中科技大学机械科学与工程学院	13	70	4.0	8.0
6	常素萍	华中科技大学机械科学与工程学院	20	145	6.0	11.0