刚性模具微纳米热压印技术研究

• 作者: 甘代伟
• 来源期刊: 广西轻工业
• 学科: 工学
• 关键词: 微纳米热压印 刚性模具 微透镜阵列
• 年，卷（期）: 2011,（8）
• 所属期刊栏目: 化工与材料
• 页码范围: 38-39
• 分类号: TS811
• 字数: 759字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-2673.2011.08.019

摘要

介绍了刚性模具微纳米热压印技术及研究现状,采用了自主研制的微纳米压印样机与飞秒激光刻蚀的SiO2模板在PMMA表面压印出微透镜阵列,并分析了压印过程中对微透镜阵列表面形貌影响的各种因数,提出了解决方法。