物理气相沉积TiAlN涂层的研究进展

• 作者: 乔生儒 张程煜 曹华伟 曹晓雨
• 来源期刊: 材料导报
• 学科: 工学
• 关键词: TiAlN涂层 制备方法 晶体结构 硬度 高温抗氧化性
• 年，卷（期）: 2011,（11）
• 所属期刊栏目: 材料综述
• 页码范围: 25-29
• 分类号: TG174.44
• 字数: 4809字
• 语种: 中文

摘要

概述了物理气相沉积TiAlN涂层的研究现状及发展趋势,详细分析了制备方法、Al含量、N2流量、基体偏压、温度以及其他元素对TiAlN涂层的涂层结构、硬度、高温抗氧化性和耐腐蚀性等性能的影响.目前制备的TiAlN涂层存在残余应力较大、表面液滴数量较多和涂层致密度差等问题.为进一步促进TiAlN涂层的应用,今后还需探索该涂层的制备方法,优化其制备工艺.多元纳米复合涂层和超点阵多层涂层是两个具有潜力的发展方向.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	乔生儒	西北工业大学超高温结构复合材料国防科技重点实验室	107	852	15.0	21.0
2	张程煜	西北工业大学超高温结构复合材料国防科技重点实验室	38	230	9.0	13.0
3	曹华伟	西北工业大学超高温结构复合材料国防科技重点实验室	1	38	1.0	1.0
4	曹晓雨	西北工业大学超高温结构复合材料国防科技重点实验室	2	47	2.0	2.0