离轴抛物镜检测中调整误差对波前畸变的影响

• 作者: 宋淑梅 李俊峰
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 离轴非球面 光学检测 波前畸变 调整误差
• 年，卷（期）: 2011,（8）
• 所属期刊栏目: 现代应用光学
• 页码范围: 1763-1770
• 分类号: TH703|TQ171.65
• 字数: 3875字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20111908.1763

摘要

对离轴非球面在光学加工和后期装调阶段的光学检测进行了研究,分析了检测过程中调整误差对波前畸变的影响.以加工半径为10 000 mm、二次曲面系数为-1、口径为500 mm、离轴量为425mm的离轴抛物面为例,建立了各个调整参数对波前畸变影响的物理模型及数学模型,调整误差主要包括俯仰与高低、偏摆与离轴量及绕其子光轴旋转3组参数.应用matlab软件对调整误差对波前畸变的影响进行了仿真分析,对相应的仿真结果进行了实验验证.结果显示,仿真与实验结果一致性很好,证明了理论模型的正确性.分析得到的相应结论适用于所有离轴非球面镜的调整误差分析.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	宋淑梅	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所中国科学院光学系统先进制造技术重点实验室	13	139	5.0	11.0
2	李俊峰	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所中国科学院光学系统先进制造技术重点实验室	29	122	7.0	9.0