一种复合调整型精密高压电源

• 作者: 刘伯强 殷淑霞 祁爽 陈振生
• 来源期刊: 现代电子技术
• 关键词: 电子束曝光机 高压电源 制版精度 复合补偿
• 年，卷（期）: 2011,（24）
• 所属期刊栏目: 电源与系统技术专栏
• 页码范围: 14-17
• 分类号: TN710-34|TM46
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-373X.2011.24.006

摘要

为保证电子束曝光机用高压电源既有高静态精度,又有高动态稳定性,采用直接调整和间接调整相结合的复合调整方案,同时采用集中补偿和分散补偿相结合的复合补偿方案.为实现高压稳压电源系统的高精密、高稳定和低纹波电压等技术指标,采取了多项合理的特定电路设计和有效的技术处理措施.通过各项性能指标的测试和长期实际工作运行,证明各项技术指标均达到或超过原设计要求,保证了电子束曝光机的制版精度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘伯强	山东大学控制科学与工程学院	16	83	5.0	8.0
2	陈振生	山东凯文科技职业学院电工电子实训中心	4	7	2.0	2.0
3	殷淑霞	山东凯文科技职业学院电工电子实训中心	1	0	0.0	0.0
4	祁爽	山东凯文科技职业学院电工电子实训中心	3	0	0.0	0.0