CIGS薄膜太阳能电池用Mo背电极的制备与结构性能研究

• 作者: 丁宇 屈直 张国君 曹智睿 田亚萍 蒋百灵 赵志明
• 来源期刊: 材料导报
• 学科: 物理学
• 关键词: Mo薄膜 磁控溅射 XRD SEM
• 年，卷（期）: 2011,（12）
• 所属期刊栏目: 材料研究
• 页码范围: 74-77
• 分类号: O484.1
• 字数: 3448字
• 语种: 中文

摘要

利用磁控溅射技术在Sode-lime玻璃衬底上沉积CIGS薄膜太阳能电池用金属Mo背电极薄膜,并研究了Mo靶功率、基片脉冲宽度以及预清洗时间对Mo薄膜的相结构、形貌及电阻率的影响.结果表明,沉积的Mo薄膜均沿(110)晶面呈柱状择优生长;增大Mo靶溅射功率可以促进薄膜晶粒长大、提高薄膜的致密性、降低电阻率;合适的基片脉冲电压脉宽促进了晶核的形成、长大并有助于沉积过程中Mo晶粒长大,进而降低薄膜电阻率;通过延长预清洗时间可获得致密性好、电阻率低的Mo薄膜,所获得的Mo薄膜最低电阻率为3.5×10-5Ω·cm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	蒋百灵	西安理工大学材料学院	241	5240	40.0	64.0
2	赵志明	西安理工大学材料学院	22	50	4.0	6.0
3	张国君	西安理工大学材料学院	35	220	8.0	14.0
4	丁宇	西安理工大学材料学院	3	23	3.0	3.0
5	田亚萍	西安理工大学材料学院	4	24	3.0	4.0
6	曹智睿	西安理工大学材料学院	4	22	2.0	4.0
7	屈直	西安理工大学材料学院	1	13	1.0	1.0