钛学术
文献服务平台
学术出版新技术应用与公共服务实验室出品
首页
论文降重
免费查重
学术期刊
学术导航
任务中心
论文润色
登录
文献导航
学科分类
>
综合
工业技术
科教文艺
医药卫生
基础科学
经济财经
社会科学
农业科学
哲学政法
社会科学II
哲学与人文科学
社会科学I
经济与管理科学
工程科技I
工程科技II
医药卫生科技
信息科技
农业科技
数据库索引
>
cscd
ei
jst
aj
sa
ca
cstpcd
cssci
sci
cpku
cscd
ei
jst
aj
sa
ca
cstpcd
cssci
sci
cpku
默认
篇关摘
篇名
关键词
摘要
全文
作者
作者单位
基金
分类号
搜索文章
搜索思路
钛学术文献服务平台
\
学术期刊
\
基础科学期刊
\
物理学期刊
\
光子学报期刊
\
利用干涉光刻和双光子聚合技术制造带有功能缺陷的二维光子晶体
利用干涉光刻和双光子聚合技术制造带有功能缺陷的二维光子晶体
作者:
于烨
孙慧婷
宋正勋
王大鹏
翁占坤
蒋伊爽
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
光子晶体
干涉光刻
双光子聚合
摘要:
光子晶体是一种介电常数呈周期性变化的介质材料,它由介电常数不同的两种材料周期排列组成,因其周期性而产生了光子禁带,为了产生比较大的光子禁带宽度,这两种材料的介电常数比一般大于2,光子晶体可以使某一频段上的光波无法通过,继而达到滤波的目的.设计了在硅基底上制作六边形孔阵的二维光子晶体的方法,这个结构具有特殊的光学特性;经过实验尝试,最终得到了能够制造符合要求的光子晶体的尺寸参数.制作这样的光子晶体要在涂有光刻胶的硅基质上进行一步干涉光刻,为完成这个光刻实验搭建了三光束光刻光路,通过多次曝光实验得到了符合仿真数据的光子晶体结构参数.通过利用双光子聚合的方法在光刻胶上可以制作点或是线缺陷,再利用如三电极电化学(HF溶液)等方法对光刻胶进行刻蚀,可制造空气柱深宽比相对较大的光子晶体.将这个模型记录在硅基底上,形成的光子晶体就具有如滤波等特殊能力.也可以利用相同的原理得到想要的光子晶体结构,以控制不同频段上的光波.这种工艺提供了更快速、低成本的制造更大型、更复杂的所需光子晶体结构的可能.
暂无资源
收藏
引用
分享
推荐文章
二维光子晶体结构和缺陷对光子禁带的影响
二维光子晶体
光子禁带
时域有限差分法
缺陷模
二维光子晶体波导和微腔缺陷态研究
光子晶体波导
微腔
缺陷态
二维光子晶体全光异或门的设计及研究
硅基光学
异或逻辑门
平面波展开法
时域有限差分法
二维方柱光子晶体的波导特性
光子晶体
光子带结构
波导
内容分析
文献信息
引文网络
相关学者/机构
相关基金
期刊文献
内容分析
关键词云
关键词热度
相关文献总数
(/次)
(/年)
文献信息
篇名
利用干涉光刻和双光子聚合技术制造带有功能缺陷的二维光子晶体
来源期刊
光子学报
学科
工学
关键词
光子晶体
干涉光刻
双光子聚合
年,卷(期)
2011,(z1)
所属期刊栏目
研究方向
页码范围
1-6
页数
分类号
TN929
字数
702字
语种
中文
DOI
10.3788/gzxb201140s1.0001
五维指标
作者信息
序号
姓名
单位
发文数
被引次数
H指数
G指数
1
翁占坤
长春理工大学纳米测量与制造技术中心
11
65
3.0
7.0
2
宋正勋
长春理工大学纳米测量与制造技术中心
21
173
5.0
13.0
3
王大鹏
长春理工大学纳米测量与制造技术中心
3
8
2.0
2.0
4
孙慧婷
长春理工大学纳米测量与制造技术中心
1
3
1.0
1.0
5
蒋伊爽
长春理工大学纳米测量与制造技术中心
1
3
1.0
1.0
6
于烨
长春理工大学纳米测量与制造技术中心
1
3
1.0
1.0
传播情况
被引次数趋势
(/次)
(/年)
引文网络
引文网络
二级参考文献
(0)
共引文献
(0)
参考文献
(14)
节点文献
引证文献
(3)
同被引文献
(2)
二级引证文献
(13)
1987(2)
参考文献(2)
二级参考文献(0)
2000(3)
参考文献(3)
二级参考文献(0)
2001(2)
参考文献(2)
二级参考文献(0)
2002(1)
参考文献(1)
二级参考文献(0)
2003(3)
参考文献(3)
二级参考文献(0)
2004(1)
参考文献(1)
二级参考文献(0)
2005(1)
参考文献(1)
二级参考文献(0)
2007(1)
参考文献(1)
二级参考文献(0)
2011(0)
参考文献(0)
二级参考文献(0)
引证文献(0)
二级引证文献(0)
2013(2)
引证文献(2)
二级引证文献(0)
2014(4)
引证文献(0)
二级引证文献(4)
2015(4)
引证文献(0)
二级引证文献(4)
2017(3)
引证文献(1)
二级引证文献(2)
2018(3)
引证文献(0)
二级引证文献(3)
研究主题发展历程
节点文献
光子晶体
干涉光刻
双光子聚合
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
光子学报
主办单位:
中国光学学会
中国科学院西安光学精密机械研究所
出版周期:
月刊
ISSN:
1004-4213
CN:
61-1235/O4
开本:
大16开
出版地:
西安市长安区新型工业园信息大道17号47分箱
邮发代号:
52-105
创刊时间:
1972
语种:
chi
出版文献量(篇)
8749
总下载数(次)
11
总被引数(次)
70454
期刊文献
相关文献
1.
二维光子晶体结构和缺陷对光子禁带的影响
2.
二维光子晶体波导和微腔缺陷态研究
3.
二维光子晶体全光异或门的设计及研究
4.
二维方柱光子晶体的波导特性
5.
二维光子晶体完全光子带隙的优化设计
6.
带缺陷结构的二维磁性光子晶体的数值模拟分析
7.
结构和缺陷对二维光子晶体传输性质的影响
8.
二维方柱光子晶体的波导特性
9.
利用P型(100)硅片制备二维光子晶体的工艺
10.
立体光刻技术制备三维光子晶体
11.
全息光刻和二次显影法制备柱形二维光子晶体
12.
新型二维函数光子晶体的透射特性
13.
二维函数光子晶体的点缺陷及本征场分布
14.
纳米压印技术制备表面二维光子晶体发光二极管
15.
二维三角晶格光子晶体波导的出射光集束传播
推荐文献
钛学术
文献服务平台
学术出版新技术应用与公共服务实验室出品
首页
论文降重
免费查重
学术期刊
学术导航
任务中心
论文润色
登录
根据相关规定,获取原文需跳转至原文服务方进行注册认证身份信息
完成下面三个步骤操作后即可获取文献,阅读后请
点击下方页面【继续获取】按钮
钛学术
文献服务平台
学术出版新技术应用与公共服务实验室出品
原文合作方
继续获取
获取文献流程
1.访问原文合作方请等待几秒系统会自动跳转至登录页,首次访问请先注册账号,填写基本信息后,点击【注册】
2.注册后进行实名认证,实名认证成功后点击【返回】
3.检查邮箱地址是否正确,若错误或未填写请填写正确邮箱地址,点击【确认支付】完成获取,文献将在1小时内发送至您的邮箱
*若已注册过原文合作方账号的用户,可跳过上述操作,直接登录后获取原文即可
点击
【获取原文】
按钮,跳转至合作网站。
首次获取需要在合作网站
进行注册。
注册并实名认证,认证后点击
【返回】按钮。
确认邮箱信息,点击
【确认支付】
, 订单将在一小时内发送至您的邮箱。
*
若已经注册过合作网站账号,请忽略第二、三步,直接登录即可。
期刊分类
期刊(年)
期刊(期)
期刊推荐
力学
化学
地球物理学
地质学
基础科学综合
大学学报
天文学
天文学、地球科学
数学
气象学
海洋学
物理学
生物学
生物科学
自然地理学和测绘学
自然科学总论
自然科学理论与方法
资源科学
非线性科学与系统科学
光子学报2022
光子学报2021
光子学报2020
光子学报2019
光子学报2018
光子学报2017
光子学报2016
光子学报2015
光子学报2014
光子学报2013
光子学报2012
光子学报2011
光子学报2010
光子学报2009
光子学报2008
光子学报2007
光子学报2006
光子学报2005
光子学报2004
光子学报2003
光子学报2002
光子学报2001
光子学报2000
光子学报1999
光子学报2011年第z1期
光子学报2011年第9期
光子学报2011年第8期
光子学报2011年第7期
光子学报2011年第6期
光子学报2011年第5期
光子学报2011年第4期
光子学报2011年第3期
光子学报2011年第2期
光子学报2011年第12期
光子学报2011年第11期
光子学报2011年第10期
光子学报2011年第1期
关于我们
用户协议
隐私政策
知识产权保护
期刊导航
免费查重
论文知识
钛学术官网
按字母查找期刊:
A
B
C
D
E
F
G
H
I
J
K
L
M
N
O
P
Q
R
S
T
U
V
W
X
Y
Z
其他
联系合作 广告推广: shenyukuan@paperpass.com
京ICP备2021016839号
营业执照
版物经营许可证:新出发 京零 字第 朝220126号