光纤测头在小型气体激光器微深孔检测中的应用

• 作者: 刘贱平 梁丽萍 金世龙 黄云
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 工学
• 关键词: 测量 光纤测头 微深孔 亚像素边缘检测技术
• 年，卷（期）: 2011,（7）
• 所属期刊栏目: 测量与计量
• 页码范围: 206-210
• 页数: 5页
• 分类号: TN247
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CJL201138.0708002

摘要

小型气体激光器腔体增益孔的直径小于1 mm,深度大于10 mm,长径比大,传统的方法很难对其进行测量.为了解决这种微深孔的测量问题,介绍了一种接触测量与光学测量相结合的方法.将末端带有发光球的光纤伸入待测孔中,在待测零件孔中做x、y方向移动,当球与孔壁接触后,会引起球心做相应的运动,利用CCD捕获发光球的球心,通过图像处理,可得出接触点处测头球心的xy坐标,拟合多点测量结果,从而实现深孔的直径、圆柱度及直线度等参数的测量.还通过亚像素边缘检测技术提高了系统的测量精度,最后采用0级标准环规对系统进行了验证,其测量结果的重复不确定度优于0.4 μm.并对深度为15mm、直径为0.6 mm的孔在三维测量显微镜上进行了测量,实验证明此测量方法为大长径比的孔的检测提供了一种可行的方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	金世龙		10	59	5.0	7.0
2	刘贱平		7	14	2.0	3.0
3	梁丽萍		2	7	1.0	2.0
4	黄云		18	87	5.0	9.0