圆锥量规锥度的高精度光学干涉法测量

• 作者: 康岩辉 张恒
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 光学干涉法 圆锥量规 锥度测量
• 年，卷（期）: 2011,（11）
• 所属期刊栏目: 现代应用光学
• 页码范围: 2551-2557
• 分类号: TB922|TH744.3
• 字数: 4076字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20111911.2551

摘要

针对超精密数控机床对圆锥量规锥度高精度测量的需求,研究了一种将“大数”和“小数”相结合,准确测量圆锥量规锥度的方法.介绍了锥度测量系统的基本原理及组成,给出了实验测量结果,分析了测量系统的不确定度.该测量方法利用最大分度间隔误差为0.10〞的多齿分度台构成高准确度分度系统保证测量“大数”部分的准确性,采用激光偏振干涉装置及精密回转工作台组成小角度测量系统保证测量“小数”部分的精度,而双光束白光干涉系统实现了测量位置的精确定位.实验和分析结果表明,该方法在不确定度置信因子k为2时,锥度测量系统的扩展不确定度约为0.24〞,优于0.3〞,可实现圆锥量规任意锥度的高精度测量.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张恒		12	33	4.0	5.0
2	康岩辉		11	27	4.0	4.0