ZnO纳米结构的CVD制备工艺及其应用

• 作者: 孟华 梁建 赵君芙 赵国英
• 来源期刊: 材料导报
• 学科: 工学
• 关键词: ZnO纳米结构 CVD法 生成机理 应用
• 年，卷（期）: 2011,（3）
• 所属期刊栏目: 材料综述
• 页码范围: 23-27
• 分类号: TQ13
• 字数: 5630字
• 语种: 中文

摘要

纳米结构的ZnO由于具有优异的光、电、磁、声等性能,已经成为光电、化学、催化、压电等领域中聚焦的研究热点之一.不同纳米结构的ZnO其制备方法不同,着重概述了采用化学气相沉积(CVD)工艺制备ZnO纳米材料,包括直接热分解、高温加热锌粉、碳热还原法以及金属有机气相沉积(MOCVD)4种方法,重点讨论了不同锌源和氧源对ZnO纳米结构的影响规律,并初步探讨了ZnO的VLS与VS生长机理,同时展望了ZnO在各领域中的最新应用.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孟华	太原理工大学材料科学与工程学院	11	19	3.0	4.0
2	梁建	太原理工大学材料科学与工程学院	25	211	8.0	14.0
3	赵君芙	太原理工大学材料科学与工程学院	21	131	5.0	10.0
4	赵国英	太原理工大学材料科学与工程学院	4	7	2.0	2.0