上海先进国内首条MEMS工艺实现量产

• 来源期刊: 电子元器件应用
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS工艺 国内 上海 微机电系统 半导体制造 生产平台 生产线
• 年，卷（期）: 2011,（10）
• 页码范围: 65
• 页数: 1页
• 分类号: TP212

摘要

“上海先进”（ASMC仕海先进半导体制造股份有限公司）在MEMS（微机电系统）代工领域取得重大进展，在打造国内MEMS工艺生产平台的同时首条MEMS工艺生产线已进入量产。