溶胶-凝胶法制备铁电薄膜的研究进展

• 作者: 向飞
• 来源期刊: 机电工程技术
• 学科: 工学
• 关键词: 溶胶-凝胶 铁电薄膜 应用
• 年，卷（期）: 2011,（8）
• 所属期刊栏目: 研究与开发
• 页码范围: 96-98
• 分类号: TB43
• 字数: 3896字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1009-9492.2011.08.033

摘要

溶胶-凝胶法是制备铁电薄膜的一种重要方法.综述了溶胶-凝胶法制备铁电薄膜的原理、工艺过程、特点,以及采用此方法制备出的某些材料的铁电性能.最后指出,溶胶-凝胶法制备铁电薄膜工艺仍需优化和改进,薄膜的质量亟待提高,以适应器件的要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	向飞		2	10	2.0	2.0