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摘要:
利用有限元分析方法,研究了金刚石对顶砧中电极与样品接触点位置变化对范德堡法测量样品电阻率精度的影响.结果表明:当电极中心与样品边缘的间距b≤d/9(d为样品直径)时能得到精确的电阻率测量结果;当电极位置远离样品边缘而逐渐接近样品中心时,其位置变化对电阻率测量精度的影响迅速增大;相同的电极位置变化对具有较大电阻率的半导体样品电阻率测量精度的影响更明显.
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文献信息
篇名 金刚石对顶砧中触点位置误差对样品电阻率测量精度的影响
来源期刊 物理学报 学科 地球科学
关键词 电阻率 有限元方法 金刚石对顶砧
年,卷(期) 2011,(12) 所属期刊栏目 凝聚物质:电子结构、电学、磁学和光学性质
研究方向 页码范围 484-488
页数 分类号 P632.1
字数 语种 中文
DOI
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 顾广瑞 延边大学理学院 26 115 5.0 10.0
2 高春晓 吉林大学超硬材料国家重点实验室 23 25 4.0 4.0
3 金逢锡 延边大学理学院 8 68 3.0 8.0
4 韩永昊 吉林大学超硬材料国家重点实验室 7 9 2.0 2.0
5 彭刚 吉林大学超硬材料国家重点实验室 15 30 3.0 5.0
传播情况
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研究主题发展历程
节点文献
电阻率
有限元方法
金刚石对顶砧
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
物理学报
半月刊
1000-3290
11-1958/O4
大16开
北京603信箱
2-425
1933
chi
出版文献量(篇)
23474
总下载数(次)
35
总被引数(次)
174683
相关基金
国家自然科学基金
英文译名:the National Natural Science Foundation of China
官方网址:http://www.nsfc.gov.cn/
项目类型:青年科学基金项目(面上项目)
学科类型:数理科学
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