AlSb多晶薄膜物相结构的实验研究

• 作者: 冯良桓 夏庚培 武莉莉 贺剑雄
• 来源期刊: 计量与测试技术
• 学科: 化学
• 关键词: AlSb多晶薄膜 物相结构 共溅射技术 金属间化合物
• 年，卷（期）: 2011,（2）
• 所属期刊栏目: 计测技术
• 页码范围: 4-5,8
• 分类号: O6
• 字数: 1855字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-6941.2011.02.002

摘要

综合真空共蒸发和磁控溅射的优点,发展了双靶共溅射技术用于制备新型光伏材料AlSb多晶薄膜,采用X射线衍射、X射线荧光光谱、俄歇电子能谱等测试手段结合的分析方法,系统研究了薄膜组分、衬底温度、氧杂质等因素对薄膜物相结构的影响.结果表明.薄膜中Al、Sb原子接近1:1时,不会出现Al或Sb的结晶峰;衬底温度较高的情况下,形成了AlSb金属间化合物为主的多晶薄膜,并随着衬底温度的升高其晶粒得以长大;氧严重影响了AlSb的生成和结晶.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	冯良桓	四川大学太阳能材料与器件研究所	78	424	10.0	17.0
2	武莉莉	四川大学太阳能材料与器件研究所	56	217	8.0	13.0
3	贺剑雄	四川大学太阳能材料与器件研究所	5	8	1.0	2.0
4	夏庚培		1	0	0.0	0.0