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摘要:
靶材主要应用于电子及信息产业,如集成电路、信息存储、液晶显示屏、太阳能电池、电子控制器件等领域.随着集成电路、太阳能和平面显示器产业的发展,靶材的种类和市场规模日益扩大,并已发展成为一个专业化产业.目前,随着我国对靶材研发的投入,某些领域国产靶材已取得很大进步并逐渐取代进口靶材,打破了靶材主要由日本、美国和德国垄断的局面.但是,在某些粉末冶金靶材领域内国产靶材还有差距.
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篇名 粉末冶金靶材的制备与应用
来源期刊 中国金属通报 学科
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年,卷(期) 2011,(31) 所属期刊栏目 企业
研究方向 页码范围 40-41
页数 2页 分类号
字数 语种 中文
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1 罗俊锋 5 13 2.0 3.0
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中国金属通报
半月刊
1672-1667
11-5004/TF
大16开
北京海淀区苏州街31号
82-239
1993
chi
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