半导体器件测试设备中的微弱电流测量模块设计

• 作者: 夏洋 李力军 李勇滔 李瑞麟 李超波 赵章琰
• 来源期刊: 传感器与微系统
• 学科: 工学
• 关键词: 微弱电流 隔离测量 自动量程
• 年，卷（期）: 2011,（10）
• 所属期刊栏目: 设计与制造
• 页码范围: 115-117
• 分类号: TN407
• 字数: 2123字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-9787.2011.10.036

摘要

在半导体测试中,需要测量μA～pA级的微弱电流,而且测量时检流计有多种可能的接入方式.为适应电流测量范围并实现接入方式的灵活性,设计了一种微弱电流检测模块,它基于低偏置电流的互阻放大器,由单片机实现A/D转换和自动量程选择,采用信号与电源分别隔离的方式实现可变的接入方式,并采取了多项措施提高精度、保护模块.该模块实现了10 pA的分辨能力和0.1％的量程内积分非线性,已经达到半导体测试设备中电流检测范围和精度的要求,并有望运用于光电测量、核电子测量等其他微弱电流检测领域.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	夏洋	中国科学院微电子研究所	67	325	9.0	14.0
2	李超波	中国科学院微电子研究所	31	120	7.0	9.0
3	赵章琰	中国科学院微电子研究所	8	110	5.0	8.0
4	李勇滔	中国科学院微电子研究所	14	31	3.0	4.0
5	李力军		3	10	2.0	3.0
6	李瑞麟		1	6	1.0	1.0