洁净保持箱洁净处理风速的分析

• 作者: 倪卫 曹庭分 熊迁 谭宁 贺少勃
• 来源期刊: 液压与气动
• 学科: 工学
• 关键词: 洁净保持箱 FFU 尘源污染 CFD
• 年，卷（期）: 2011,（6）
• 所属期刊栏目: 研究 设计
• 页码范围: 26-28
• 页数: 3页
• 分类号: TB126
• 字数: 2293字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-4858.2011.06.009

摘要

在建立洁净保持箱结构模型的基础上,分析洁净处理的过程,提出风速是影响洁净保持箱洁净处理的重要参数之一,着重从控制尘源污染和满足气流均一性两个方面对洁净处理要求风速大小进行了分析计算,结果表明控制尘源污染要求风速大于等于0.25 m/s,满足气流均一性的最佳洁净处理风速约为0.25 m/s,最后结合计算和实验,确定洁净保持箱洁净处理方案在采用FFU产生的自上向下垂直流,最佳洁净处理风速为0.25 m/s.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	贺少勃	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	45	234	8.0	12.0
2	倪卫	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	15	90	5.0	9.0
3	曹庭分	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	14	25	3.0	4.0
4	熊迁	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	6	17	3.0	4.0
5	谭宁	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	2	5	1.0	2.0