SG滤波在朗缪尔探针信号处理中的应用

• 作者: 桑庆双 程健
• 来源期刊: 计算机工程
• 学科: 工学
• 关键词: 朗缪尔探针 等离子体 伏安特性曲线 SG滤波 电子能量概率函数
• 年，卷（期）: 2011,（17）
• 所属期刊栏目: 工程应用技术与实现
• 页码范围: 220-222,226
• 分类号: TN911.72
• 字数: 2967字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-3428.2011.17.074

摘要

利用朗缪尔探针检测射频耦合等离子体特性参数时,测得的伏安特性曲线会受电磁干扰而产生畸变,从而影响等离子体参数的计算和特性分析.为此,利用Savitzky-Golay(SG)滤波算法对伏安特性曲线进行分段滤波,给出平滑效果较好的特性参数.实验结果表明,SG算法对原始信号特征改变较少,求出的电子能量概率函数准确度较高.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	程健	中国科学技术大学自动化系	91	589	12.0	21.0
2	桑庆双	中国科学技术大学自动化系	2	14	2.0	2.0