医用316L不锈钢表面Ta(Ti)N涂层的制备与表征

• 作者: 丁明惠 戴希林 聂江
• 来源期刊: 化工新型材料
• 学科: 工学
• 关键词: 316L不锈钢 Ta(Ti)N涂层 纳米力学性能 耐腐蚀性能 血液相容性
• 年，卷（期）: 2011,（2）
• 所属期刊栏目: 开发应用
• 页码范围: 100-103
• 分类号: TQ63
• 字数: 3815字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-3536.2011.02.033

摘要

采用射频磁控溅射的方法制备了Ti含量不同的Ta(Ti)N涂层并研究了涂层的微观结构和性能.扫描电子显微镜(SEM)照片显示涂层结构致密无大的孔洞.XRD结果显示无Ti掺杂的涂层为面心立方结构的TaN,Ti掺杂的Ta(Ti)N涂层随着Ti掺杂量的增加TaN的衍射峰向高角度偏移,偏移的原因是形成了Ta(Ti)N固溶体.固溶体的形成使Ta(Ti)N涂层的纳米硬度明显高于TaN涂层的纳米硬度.Tafel外推结果表明在PBS溶液中,Ta(Ti)N涂层后的316L不锈钢的耐腐蚀性明显好于基体316L不锈钢的耐腐蚀性.血液相容性实验结果表明Ta(Ti)N涂层的血液相容性明显好于316L不锈钢基体的血液相容性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	丁明惠	哈尔滨工程大学材料科学与化学工程学院	13	65	4.0	7.0
2	聂江		5	10	2.0	3.0