基于硅塑性变形的蛇形梁垂直梳齿驱动器

• 作者: 宋朝辉 戈肖鸿 肖育华 车录锋
• 来源期刊: 传感器与微系统
• 学科: 工学
• 关键词: 蛇形曲折梁 塑性变形 垂直驱动 静电梳齿驱动器
• 年，卷（期）: 2011,（3）
• 所属期刊栏目: 前沿技术
• 页码范围: 141-144
• 分类号: TM304
• 字数: 2924字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-9787.2011.03.043

摘要

设计了基于硅塑性变形的垂直梳齿驱动器,中央可动微镜由四组蛇形曲折梁支撑.驱动器的制作采用硅一硅键合技术,首先利用DRIE干法刻蚀技术释放可动梳齿与固定梳齿,然后通过各向异性湿法腐蚀制作的施压凸台实现可动梳齿和固定梳齿的精确自对准,最后利用硅塑性变形使可动梳齿和固定梳齿在垂直方向上产生位错,成功制作出在Z方向依靠位错梳齿实现垂直驱动的蛇形梁静电梳齿驱动器.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	车录锋		7	62	5.0	7.0
2	宋朝辉		2	6	1.0	2.0
3	戈肖鸿		1	5	1.0	1.0