CdTe多晶薄膜的干法腐蚀

• 作者: 冯良桓 杨帆 王文武 郑家贵
• 来源期刊: 计量与测试技术
• 学科: 工学
• 关键词: CdTe太阳电池 干法腐蚀 背接触
• 年，卷（期）: 2011,（2）
• 所属期刊栏目: 计测技术
• 页码范围: 60-62
• 分类号: TQ13
• 字数: 1970字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-6941.2011.02.034

摘要

我们采用等离子束轰击的方法,研究了干法腐蚀对多晶CdTe薄膜结构和性能的变化,以及对CdTe太阳电池性能的影响.发现与湿法腐蚀方法相比,等离子束溅射轰击不仅可以彻底清除表面的氧化层,而且可以同时改善表面的微粗糙度,增强薄膜的附着力.通过对不同腐蚀方法所制成的CdTe电池器件的性能测试,得出了电池性能较好的干法腐蚀工艺条件.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	冯良桓	四川大学材料科学系	78	424	10.0	17.0
2	郑家贵	四川大学材料科学系	49	317	9.0	15.0
3	王文武	四川大学材料科学系	27	9	2.0	2.0