空气产品、中国地质大学启动联合研发项目

• 来源期刊: 中国石油和化工
• 学科: 工学
• 关键词: 中国地质大学 研发项目 化工产品 空气 微电子产业 薄膜材料 沉积过程 可持续能源
• 年，卷（期）: 2011,（10）
• 所属期刊栏目: 资讯集萃
• 页码范围: 76-76
• 分类号: TQ072
• 字数: 1417字
• 语种: 中文

摘要

空气化工产品公司宣布与中国地质大学（武汉）可持续能源实验室合作启动了一项新的联合研发项目，加速开发应用于微电子产业的材料。该项目将利用计算机建模技术，更深入地研究电子薄膜材料的沉积过程及其化学机理。这些研究获得的成果将有助于指导新电子薄膜材料沉积前驱体分子的选择，从而可以满足开发下一代逻辑和存储芯片的各方面需求。