化学气相沉积设备与装置

• 作者: 韩同宝
• 来源期刊: 化学工程与装备
• 学科: 工学
• 关键词: 化学气相沉积 设备 装置
• 年，卷（期）: 2011,（3）
• 所属期刊栏目: 专论综述
• 页码范围: 136-137
• 分类号: TG155.7
• 字数: 2951字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-0735.2011.03.048

摘要

本文介绍了化学气相沉积设备的系统组成与典型装置,讨论了几种典型装置特点对化学气相沉积过程的影响,分析和总结了典型装置的维护对沉积参数控制精度及沉积过程的影响.