基于红外波段光谱吸收的小型化湿度探测系统

• 作者: 孙可 谢亮 鞠昱 韩威
• 来源期刊: 强激光与粒子束
• 学科: 物理学
• 关键词: 传感器 湿度检测 红外波段光谱吸收 小型化 过采样 数字锁相放大
• 年，卷（期）: 2011,（2）
• 所属期刊栏目: 高功率激光与光学
• 页码范围: 363-366
• 分类号: O436
• 字数: 2560字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/HPLPB20112302.0363

摘要

探测系统的光源选择为垂直腔面发射激光器,选定水汽在1.854 μm的吸收峰.系统自动在直接测量法与谐波测量法之间切换,能够适应高低湿度环境.在低湿度环境检测中,利用二次谐波与一次谐波的比值来定标湿度,有效去除了光源不稳定对测量带来的影响;过采样的A/D转换结合数字锁相放大(DLIA)技术,提高了检测精度.系统通过以太网接口,可以实现远程数据采集.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	谢亮	中国科学院半导体研究所	28	109	7.0	8.0
2	鞠昱	中国科学院半导体研究所	9	32	4.0	5.0
3	韩威	中国科学院半导体研究所	5	13	2.0	3.0
4	孙可	中国科学院半导体研究所	4	48	3.0	4.0