双源超声雾化热解喷涂仪研制

• 作者: 刘强 程新路 高洪明 龚恒翔
• 来源期刊: 实验室研究与探索
• 学科: 工学
• 关键词: 超声雾化 氧化锌 X射线衍射
• 年，卷（期）: 2011,（4）
• 所属期刊栏目: 实验技术
• 页码范围: 6-8
• 分类号: TB302.2
• 字数: 2420字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-7167.2011.04.002

摘要

单源超声雾化室实验系统在制备掺杂薄膜时,由于制备前驱源溶液与掺杂溶液混合在同一个雾化室,几种不同的溶液之间相互影响,对制备高质量的掺杂薄膜非常不利;同时单源超声雾化室的沉积速度较慢,不利于向工业化方向转化;双源超声雾化室避免了在制备掺杂薄膜时掺杂溶液和源溶液混合而互相污染的弊病,从根本上解决了单源超声雾化热喷涂法制备掺杂薄膜存在的问题;同时衬底取向朝下,采用竖直向上的供料方式沉积薄膜,利用重力直接筛选大雾滴,沉积薄膜的雾滴粒径分布更加集中.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	程新路	四川大学原子分子物理研究所	174	597	12.0	14.0
2	刘强	重庆理工大学光电信息学院	10	27	3.0	4.0
3	高洪明	重庆理工大学光电信息学院	2	2	1.0	1.0
4	龚恒翔	重庆理工大学光电信息学院	27	72	5.0	7.0