化学法多晶硅生产工艺研究进展

• 作者: 何绍福 念保义 郭海琼
• 来源期刊: 广州化工
• 学科: 工学
• 关键词: 太阳能多晶硅 化学法 流化床反应器 改良西门子工艺 硅烷法工艺
• 年，卷（期）: 2011,（6）
• 所属期刊栏目: 专论与综述
• 页码范围: 21-24,37
• 分类号: TQ127.2
• 字数: 5848字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-9677.2011.06.009

摘要

随着能源危机的不断加剧,太阳能作为可再生能源已成为关注的焦点.从国内外多晶硅的生产状况,综述了化学法多晶硅的生产工艺,重点分析比较了几种潜在工业应用的流化床法生产多晶硅工艺的特点,指出未来多晶硅生产应当以流化床法为主,并耦合其它相关技术.同时展望了未来化学法生产多晶硅的发展趋势.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	念保义	三明学院资源开发与规划研究所	24	277	8.0	16.0
2	何绍福	三明学院资源开发与规划研究所	6	55	4.0	6.0
3	郭海琼	三明学院资源开发与规划研究所	1	22	1.0	1.0