高效太阳能电池薄膜生长工艺优化模型的研究及其意义

• 作者: 叶晓军 夏士伟 李桂琴 李红波 陆利新
• 来源期刊: 制造业自动化
• 学科: 工学
• 关键词: 薄膜生长 工艺建模 分形理论 计算智能 集成
• 年，卷（期）: 2011,（5）
• 所属期刊栏目: 加工与制造
• 页码范围: 43-46
• 分类号: TP399
• 字数: 3610字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1009-0134.2011.3a.15

摘要

薄膜化是降低太阳电池成本的主要手段和发展趋势,薄膜生长设备研制与通用设备的最大区别就是要与生产工艺密切配合.本文提出一种用于太阳能薄膜生长的工艺建模新方法,将计算智能技术与分形理论综台集成,利用计算智能方法提供的混台智能系统及分形理论的数学工具进行系统描述,建立薄膜生长复杂过程的基本模型,以得到生长过程参数与薄膜宏观性能之间的定,解析关系.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陆利新	上海大学机自学院	11	34	3.0	5.0
2	李红波		12	160	5.0	12.0
3	李桂琴	上海大学机自学院	20	104	5.0	9.0
4	叶晓军		10	18	2.0	3.0
5	夏士伟		1	3	1.0	1.0