电弧离子镀膜设备中节流阀开度的检测与控制

• 作者: 朱开宇 贾春荣 高雪飞
• 来源期刊: 制造业自动化
• 学科: 工学
• 关键词: 节流阀 镀膜 PCL-836 检测 控制
• 年，卷（期）: 2011,（6）
• 所属期刊栏目: 检测与监控
• 页码范围: 1-2,8
• 分类号: TP273
• 字数: 1920字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1009-0134.2011.3b.01

摘要

本文介绍了电弧离子镀膜设备中基于PCL-836板卡和MCGS组态软件对节流阀开度进行检测与控制的方法.通过相应的硬件配置和软件设计,计算机直接操作PCL-836,使其输出PWM信号去控制步进电机从而驱动节流阀.同时,利用编码器将节流阀开度大小转换成电脉冲信号,由PCL-836对此脉冲信号进行计数并送入计算机.这种方法使得电弧离子镀膜设备镀膜室中的真空度控制及时、准确,从而提高了镀膜质量.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	高雪飞		13	32	3.0	5.0
2	贾春荣		10	19	2.0	4.0
3	朱开宇		6	4	1.0	2.0