氧化锌镓薄膜的制备技术和研究现状

• 作者: 李晨辉 柯文明 王小伟 胡加佳 黄帅
• 来源期刊: 材料导报
• 学科: 工学
• 关键词: GZO薄膜 透明导电氧化物 制备方法 电阻率 可见光透过率
• 年，卷（期）: 2011,（7）
• 所属期刊栏目: 材料综述
• 页码范围: 17-23
• 分类号: TB383
• 字数: 6949字
• 语种: 中文

摘要

介绍了制备GZO薄膜的各种方法,如磁控溅射法、化学气相沉积法、溶胶-凝胶法、脉冲激光沉积法、喷雾热解法;阐述了这些方法的镀膜原理,并比较了各种工艺的优缺点.综述了GZO薄膜在单层膜领域、复合多层膜领域有机物基底上镀膜领域和薄膜后续退火处理领域的研究现状.提出了产业化过程中需要解决的问题:①制备高密度、高溅射稳定性和导电性优良的靶材;②完善现有镀膜工艺条件;③制备符合不同生产要求的薄膜..

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李晨辉	华中科技大学材料成形与模具技术国家重点实验室	32	326	11.0	17.0
2	黄帅	华中科技大学材料成形与模具技术国家重点实验室	6	12	2.0	3.0
3	胡加佳	华中科技大学材料成形与模具技术国家重点实验室	2	4	1.0	2.0
4	柯文明	华中科技大学材料成形与模具技术国家重点实验室	5	18	2.0	4.0
5	王小伟	华中科技大学材料成形与模具技术国家重点实验室	2	4	1.0	2.0